T/CSCP 0059.3-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法

标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法

标准编号：T/CSCP 0059.3-2025

发布部门：中国腐蚀与防护学会

发布日期：2025-09-01

实施日期：2025-10-01

标准页数：15页

内容简介：本文件规定了机电电统 Micro-Electro-Mechanical System, 以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器测试项目及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则。本文件适用于MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的测试。

T/CSCP 0059.3-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第3部分：测试方法