T/DZJN 522-2026 半导体设备用石英材料零部件精密机械加工工艺技术规范

标准名称：半导体设备用石英材料零部件精密机械加工工艺技术规范

标准编号：T/DZJN 522—2026

国际标准分类号：81玻璃和陶瓷工业 81.040玻璃 81.040.30玻璃产品

国民经济分类：C 制造业 C30 非金属矿物制品业 C305 玻璃制品制造

发布日期：2026-03-19

实施日期：2026-03-19