标准名称：碳化硅单晶切割片
标准编号：T/IAWBS 026—2026
国际标准分类号：29电气工程 29.045半导体材料
国民经济分类：C 制造业 C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2026-07-07
实施日期：2026-07-14
起草人：佘宗静、彭同华、刘英、蔡振立、崔云雯、邹宇、李松松、王波、刘祎晨、杨建、王文军、郭建刚
起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司、江苏天科合达半导体有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、中国科学院物理研究所
适用范围：本文件适用于物理气相传输法制备的直径不大于300mm的碳化硅单晶切割片。产品主要用于进一步加工成研磨片和抛光片。
本文件规定了4H碳化硅单晶切割片的牌号及分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
