T/DZJN 521-2026 半导体设备用石英材料零部件火加工技术规范

标准名称：半导体设备用石英材料零部件火加工技术规范

标准编号：T/DZJN 521—2026

国际标准分类号：81玻璃和陶瓷工业 81.020玻璃和陶瓷生产工艺

国民经济分类：C 制造业 C30 非金属矿物制品业 C305 玻璃制品制造

发布日期：2026-03-19

实施日期：2026-03-19

石英材料零部件火加工的堆料、焊接、对接、折弯加工、火补修理的工艺规程，以及石英火加工零部件的质量检测方法、环境管控、清洗要求、设备及辅料要求和焊工要求。