IEC 62047-4:2008 半导体器件 - 微电子机械器件 - 第4部分：MEMS通用规范

标准号：IEC 62047-4:2008

发布日期：2008-08-21

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS

半导体器件 - 微电子机械器件 - 第4部分：MEMS通用规范

IEC62047-4:2008的适用范围是：该标准规定了用于半导体制造工艺的微机电系统（MEMS）中薄膜材料的拉伸性能测试方法，主要适用于通过微加工技术制备的薄膜材料。